Si-IGBTプロセスによるFZ-Siの少数キャリアライフタイムへの影響評価-III-
書誌事項
- タイトル別名
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- Third-Phase Evaluation of Minority Carrier Lifetime in FZ-Si Affected by Si-IGBT Process
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 2757-2757, 2019-02-25
公益社団法人 応用物理学会