角度制御型マグネトロンスパッタリング装置を用いた酸化亜鉛薄膜の作製と成膜条件の検討
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- 保坂 拓己
- 法政大 物材機構
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- 山形 栄人
- 法政大 物材機構
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- 大澤 健男
- 物材機構
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- Sergey Grachev
- サンゴバン
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- Herve Montigaud
- サンゴバン
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- 石垣 隆正
- 法政大
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- 大橋 直樹
- 物材機構
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication and Optimization of Zinc Oxide Thin Film Growth using Angle-Controlled Magnetron Sputtering
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 3826-3826, 2018-09-05
公益社団法人 応用物理学会