Stress distribution at SiO₂/4H-SiC interface studied by Confocal Raman Microscopy

収録刊行物

• 応用物理学会学術講演会講演予稿集

  応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3666-3666, 2018-03-05

  公益社団法人 応用物理学会