光電気化学反応を利用したn-GaN表面層の低損傷エッチング
書誌事項
- タイトル別名
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- Low-damage etching of n-GaN surface utilizing photoelectrochemical reactions
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 3073-3073, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会