C<sub>3</sub>H<sub>5</sub>クラスターイオン注入による近接ゲッタリングサイトに関する第一原理解析
書誌事項
- タイトル別名
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- First principles analysis on proximity gettering sites formed by C<sub>3</sub>H<sub>5</sub> cluster ion implantations
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 3283-3283, 2015-08-31
公益社団法人 応用物理学会