Impacts of hydrogen annealing induced mobile ions on thermal SiO<sub>2</sub>/SiC interface property
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 (0), 3282-3282, 2013-03-11
公益社団法人 応用物理学会