共振器-スロット型ランチャーを用いた915MHz表面波励起プラズマの生成と大面積表面プロセスへの応用

収録刊行物

• 応用物理学会学術講演会講演予稿集

  応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.2 (0), 1237-1237, 2011-08-16

  公益社団法人 応用物理学会