共振器-スロット型ランチャーを用いた915MHz表面波励起プラズマの生成と大面積表面プロセスへの応用

DOI

シジャンチャン

静岡大
國井一輝

静岡大
荻野明久

静岡大
永津雅章

静岡大

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.2 (0), 1237-1237, 2011-08-16

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390579852779369344
DOI

10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_1237
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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