サブ大気圧SF<sub>6</sub>プラズマによるSiCウエハのダイシング加工
書誌事項
- タイトル別名
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- RF電力の加工速度への影響
説明
<p>サブ大気圧プラズマを用いたプラズマエッチングをSiCデバイス作成時のダイシング工程に適用することを提案している．このプラズマを用いたダイシングは100µm厚のウエハを切断することを目標としているが，加工の進行に伴い加工速度が低下することがわかった．この手法を実用化するには加工速度の向上が急務である．そこで本研究ではRF電力を増大させ，加工速度への影響を調査した．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 305-306, 2023-08-31
公益社団法人 精密工学会