膜応力による基板の反りの定量的計算について

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タイトル別名
  • Development of a Procedure for Precisely Calculating Substrate Bending Caused by Multilayer Coating Stress
  • マク オウリョク ニ ヨル キバン ノ ソリ ノ テイリョウテキ ケイサン ニ ツイテ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 71 (10), 601-606, 2020-10-01

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (1)*注記

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