摩擦式微動機構の新しい駆動方式とそれによる性能向上

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  • 小林 大
    東京大学生産技術研究所　機械・生体系部門
  • 川勝 英樹
    東京大学生産技術研究所　機械・生体系部門

書誌事項

タイトル別名
  • Innovation of the Driving Method and thereby Improvement of Frictional Fine Positioning System
  • マサツ シキビドウ キコウ ノ アタラシイ クドウ ホウシキ ト ソレニ ヨル セイノウ コウジョウ

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抄録

<p>圧電素子をゆっくり伸ばし急速に復元する動作を繰り返して移動する微動機構（摩擦式微動機構）の駆動方法として，高電圧小電流の直流電源またはアンプとMOSFET によるグランドへの放電回路を組み合わせる方式が高電圧大電力のアンプを使用するよりも合理的である．また既存の駆動回路の性能の不足，あるいは駆動回路と微動機構の間を結ぶケーブルの自己インダクタンス等により圧電素子の復帰速度が不十分な場合に使用できる，独立した電源を必要としない波形整形回路を提案する．</p>

収録刊行物

  • 生産研究

    生産研究 73 (5), 381-384, 2021-11-01

    東京大学生産技術研究所

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