スパッタリング法で室温合成した(Al<sub>1-<i>x</i></sub>Sc<i><sub>x</sub></i>)N膜の強誘電性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Ferroelectric properties of room temperature-deposited (Al<sub>1-<i>x</i></sub>Sc<i><sub>x</sub></i>)N films by the sputtering method.
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 886-886, 2020-08-26
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390854882571591936
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC