アンモニアフリー高温有機金属気相成長法による高品質(10-13)半極性面AlNヘテロエピタキシャル成長
書誌事項
- タイトル別名
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- High quality semipolar (10-13) AlN hetero-epitaxial growth by ammonia-free high-temperature MOVPE (AFHT-MOVPE)
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2586-2586, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会