AlN膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究
抄録
<p>弾性表面波(SAW)デバイスは、基材の表面近傍を伝搬する機械振動を利用した圧電マイクロデバイスであり、センサへの応用が期待されている。高感度なセンサとして利用するためには、高い周波数帯域で小さな伝搬損失が必要であり、AlNの結晶性とSAWデバイスの設計値がデバイス特性に大きく影響する。本研究では、AlNの結晶性とSAWデバイスの波長と伝搬距離に応じた特性変化について調査した。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 284-285, 2022-03-02
公益社団法人 精密工学会