AlGaN系窒化物スパッタエピプロセスの開発

DOI

藤岡洋

東大生研 JST-ACCEL
櫻井悠也

東大生研
上野耕平

東大生研
小林篤

東大生研

書誌事項

タイトル別名

Development of sputtering epitaxial growth processes for AlGaN

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 265-265, 2018-09-05

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390856384291512064
DOI

10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_265
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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