円筒キャビティによるマイクロ波プラズマ生成の密度分布制御
書誌事項
- タイトル別名
-
- Density Profile Control of Microwave Plasma Generated by Cylindrical Cavity
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 1710-1710, 2017-03-01
公益社団法人 応用物理学会