中性粒子ビームエッチング技術によるシリコンナノピラー-SiGe<sub>0.3</sub>複合膜の作製と熱伝導率の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication and evaluation of SiNP-SiGe<sub>0.3</sub> composite based on neutral beam etching technique
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 1816-1816, 2016-09-01
公益社団法人 応用物理学会
