微細線構造レプリカモールドを用いた低濃度離型処理時のUV-NIL転写回数の寿命予測
書誌事項
- タイトル別名
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- Life-time evaluation of UV-NIL transfers using line and space replica mold at low concentration release agent treatment
抄録
<p>金型はUV-NIL転写を繰り返すと表面の離型剤が劣化し樹脂付着や欠損が生じる．L&S構造では線に沿った水の接触角（CA）と線を横切るCAがあり，2つのCAの差を利用することで、金型の離型処理の寿命を予測することが可能である．通常，離型剤の濃度は0.1%程度で用いるが，さらに低い濃度での挙動は調べられていない．本研究では100nmのL&S構造を有する低濃度離形剤処理を施したレプリカモールドを用いて寿命予測を行ったので報告する．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2022A (0), 101-102, 2022-08-25
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390858209188785280
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可