TEOS 導入によるMOCVD 法CeO<sub>2</sub> 薄膜の結晶化抑制
書誌事項
- タイトル別名
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- Crystallization suppression of CeO<sub>2</sub> thin films deposited by MOCVD by additional TEOS introduction
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1427-1427, 2016-03-03
公益社団法人 応用物理学会