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無極性m面AlN基板上へのAlNの流量変調エピタキシ
DOI
西中 淳一
NTT物性研
谷保 芳孝
NTT物性研
赤坂 哲也
NTT物性研
熊倉 一英
NTT物性研
書誌事項
タイトル別名
Flow-rate Modulation Epitaxy of AlN on Nonpolar m-plane AlN Substrates
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 3477-3477, 2016-03-03
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
22a-H121-7
結晶工学
III-V族窒化物結晶
成長（MOVPE）
窒化アルミニウム
無極性
流量変調エピタキシ
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390858397088539520
DOI
10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3477
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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