Si蒸気圧エッチング法による4H-SiC表面の加工変質層除去とその効果
書誌事項
- タイトル別名
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- Removal of damaged layer on 4H-SiC surface and its effects using Si-vapor etching
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 3229-3229, 2015-08-31
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390858773326316288
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC