Analysis of Crystalline in GaN Epitaxial Layer after the Wafer Dicing Process
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- Taguchi Hideyuki
- KOBELCO Research Inst., Inc., Japan Osaka Univ., Japan
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- Kitahara Amane
- KOBELCO Research Inst., Inc., Japan
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- Miyake Syugo
- KOBELCO Research Inst., Inc., Japan
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- Nakaue Akimitsu
- KOBELCO Research Inst., Inc., Japan
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- Fujiwara Yasufumi
- Osaka Univ., Japan
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.2 (0), 701-701, 2013-08-31
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390859989726109824
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- en
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- データソース種別
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- JaLC