ノボラック系ポジ型レジストにおける溶解抑制剤のエステル化率とリソグラフィー特性の関係

Journal

• JSAP Annual Meetings Extended Abstracts

  JSAP Annual Meetings Extended Abstracts 2013.1 (0), 1499-1499, 2013-03-11

  The Japan Society of Applied Physics