超音波洗浄のための二重反射面集束型振動子
書誌事項
- タイトル別名
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- Fluid-type double-parabolic-reflector ultrasonic transducer for ultrasonic cleaning
抄録
<p>近年、シリコンウェハから微粒子を除去するために超音波洗浄技術が注目されている。シリコンウェハにダメージを与えずに高効率に微粒子を除去するためには、キャビテーション閾値の高い高周波帯において高音圧の超音波を照射することが必要である。本報告では二重反射面構造によって水中超音波を集束するFluid-type DPLUSを使った超音波洗浄システムについて検討をおこなった。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 383-384, 2023-08-31
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390862268805392000
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可