超音波洗浄のための二重反射面集束型振動子

DOI
  • 山田 恭平
    東京大 工学系研究科 精密工学専攻
  • 王 唯権
    東京大 新領域創成科学研究科 人間環境学専攻
  • 森田 剛
    東京大 工学系研究科 精密工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Fluid-type double-parabolic-reflector ultrasonic transducer for ultrasonic cleaning

抄録

<p>近年、シリコンウェハから微粒子を除去するために超音波洗浄技術が注目されている。シリコンウェハにダメージを与えずに高効率に微粒子を除去するためには、キャビテーション閾値の高い高周波帯において高音圧の超音波を照射することが必要である。本報告では二重反射面構造によって水中超音波を集束するFluid-type DPLUSを使った超音波洗浄システムについて検討をおこなった。</p>

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390862268805392000
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2023a.0_383
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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