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Si高指数面酸化過程のリアルタイム光電子分光による評価

Bibliographic Information

Other Title
  • Si コウシスウメン サンカ カテイ ノ リアルタイム コウデンシ ブンコウ ニ ヨル ヒョウカ
  • Characterization of initial oxidation process on high-index silicon surfaces by real-time photoemission spectroscopy
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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Details

  • CRID
    1520009408096680320
  • NII Article ID
    110008800850
  • NII Book ID
    AA1123312X
  • ISSN
    09135685
  • NDL BIB ID
    11200033
  • Text Lang
    ja
  • NDL Source Classification
    • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • Data Source
    • NDL
    • CiNii Articles

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