Si高指数面酸化過程のリアルタイム光電子分光による評価
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- Si コウシスウメン サンカ カテイ ノ リアルタイム コウデンシ ブンコウ ニ ヨル ヒョウカ
- Characterization of initial oxidation process on high-index silicon surfaces by real-time photoemission spectroscopy
- シリコン材料・デバイス
- シリコン ザイリョウ デバイス
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 111 (114), 23-27, 2011-07-04
The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers
