Si高指数面酸化過程のリアルタイム光電子分光による評価

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タイトル別名
  • Si コウシスウメン サンカ カテイ ノ リアルタイム コウデンシ ブンコウ ニ ヨル ヒョウカ
  • Characterization of initial oxidation process on high-index silicon surfaces by real-time photoemission spectroscopy
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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