書誌事項
- タイトル別名
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- 半導体製造工場で92時間の火災 難燃材だったはずの装置きょう体に延焼か : 事故は語る
- ハンドウタイ セイゾウ コウジョウ デ 92ジカン ノ カサイ ナンネンザイ ダッタ ハズ ノ ソウチ キョウ カラダ ニ エンショウ カ : ジコ ワ カタル
- 半導体製造工場で92時間の火災 難燃材だったはずの装置きょう体に延焼か : 事故は語る
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抄録
未反応チタン除去装置とは、製造棟で実施していたウエハー製造工程で、金属とシリコン（Si）の合金化層（シリサイド）を形成する工程で使うもの。一部の製品では、シリサイドの金属にチタンを使用しており、その最終段階で未反応チタン除去装置を使用してい…
収録刊行物
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- 日経ものづくり
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日経ものづくり (806), 72-76, 2021-11
東京 : 日経BP社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410373036800
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- NII論文ID
- 40022734781
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- NII書誌ID
- AA11914116
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- ISSN
- 13492772
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- NDL書誌ID
- 031792773
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- Nikkei BP
- CiNii Articles