表面改質を利用した単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速・低ダメージ加工

書誌事項

タイトル別名
  • ヒョウメン カイシツ オ リヨウ シタ タンケッショウ チッカ ガリウム(GaN)キバン ノ コウソク ・ テイダメージ カコウ
  • Surface Modification Assisted High-Speed and High-Accurate Manufacturing of Gallium Nitride (GaN)
  • 特集 次世代デバイスを支える精密仕上げ技術
  • トクシュウ ジセダイ デバイス オ ササエル セイミツ シアゲ ギジュツ

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