表面改質を利用した単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速・低ダメージ加工
書誌事項
- タイトル別名
-
- ヒョウメン カイシツ オ リヨウ シタ タンケッショウ チッカ ガリウム(GaN)キバン ノ コウソク ・ テイダメージ カコウ
- Surface Modification Assisted High-Speed and High-Accurate Manufacturing of Gallium Nitride (GaN)
- 特集 次世代デバイスを支える精密仕上げ技術
- トクシュウ ジセダイ デバイス オ ササエル セイミツ シアゲ ギジュツ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
-
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 89 (5), 368-372, 2023-05
東京 : 精密工学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520015045382728448
-
- NII書誌ID
- AN1003250X
-
- ISSN
- 09120289
-
- NDL書誌ID
- 032877723
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
-
- データソース種別
-
- NDL
