CMP工程後におけるPVAブラシ洗浄について
書誌事項
- タイトル別名
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- CMP コウテイ ゴ ニ オケル PVA ブラシ センジョウ ニ ツイテ
- On the PVA brush scrubbing for the post-CMP cleaning
- 特集 最新の洗浄技術 : 微小パーティクルの除去技術
- トクシュウ サイシン ノ センジョウ ギジュツ : ビショウ パーティクル ノ ジョキョ ギジュツ
- 公開日
- 2023-07
- 公開者
- 東京 : 砥粒加工学会
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収録刊行物
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- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
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Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 67 (7), 393-396, 2023-07
東京 : 砥粒加工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520015487545838720
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- NII書誌ID
- AN10192823
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- ISSN
- 09142703
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- NDL書誌ID
- 032949378
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
