リセスゲートAlGaN/GaN-HEMT向け低ダメージドライエッチング

書誌事項

タイトル別名
  • リセスゲート AlGaN/GaN-HEMT ムケ テイダメージドライエッチング
  • Low Damage Dry Etching for Recessed Gate AlGaN/GaN-HEMTs
  • 電子デバイス
  • デンシ デバイス

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