電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法を用いた高品質薄膜形成

書誌事項

タイトル別名
  • トピックス 電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法を用いた高品質薄膜形成
  • トピックス デンシ サイクロトロン キョウメイ ECR スパッタホウ オ モチイタ コウヒンシツ ハクマク ケイセイ
  • Deposition of High Quality Thin Films Using Electron Cyclotron Resonance (ECR) Plasma Sputtering
  • トピックス 電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法を用いた高品質薄膜形成

この論文をさがす

説明

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

収録刊行物

参考文献 (12)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ