反応性イオンプレーティング法による窒化アルミニウム皮膜形成に及ぼす窒素ガス圧およびイオン化電流の影響
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンノウセイ イオン プレーティングホウ ニ ヨル チッカ アルミニウム ヒマ
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抄録
記事分類: 金属工学・鉱山工学--金属加工--表面処理
収録刊行物
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- 金属表面技術 / 金属表面技術協会 [編]
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金属表面技術 / 金属表面技術協会 [編] 38 (6), p228-233, 1987-06
東京 : 金属表面技術協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882436889088
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- NII論文ID
- 40000776697
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- NII書誌ID
- AN00064951
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- ISSN
- 00260614
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- NDL書誌ID
- 3133570
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles