電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ
書誌事項
- タイトル別名
-
- デンジ クドウガタ シリコン MEMS レゾネータ
- Electromagnetic Silicon MEMS Resonator
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
-
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1-5, 2017
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
