ガスデポジション法による円錐バンプの作製--MEMSデバイスの低温・低荷重ストレスフリー実装を目指して

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タイトル別名
  • ガスデポジションホウ ニ ヨル エンスイ バンプ ノ サクセイ MEMS デバイス ノ テイオン テイカジュウ ストレスフリー ジッソウ オ メザシテ
  • Fabrication of cone-shaped micro-bump by gas deposition method: for stress-free packaging with low-temperature and low-load for MEMS-devices

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