酸素の化学ポテンシャルデザインに基づくMONOS型メモリーの原子レベルの設計指針

書誌事項

タイトル別名
  • サンソ ノ カガク ポテンシャル デザイン ニ モトズク MONOSガタ メモリー ノ ゲンシ レベル ノ セッケイ シシン
  • Atomistic guiding principle for MONOS-type memory based on designing oxygen chemical potemtial
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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