SiナノワイヤへのNiシリサイド形成と過剰な侵入とその抑制に関する検討

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タイトル別名
  • Si ナノワイヤ エ ノ Ni シリサイド ケイセイ ト カジョウ ナ シンニュウ ト ソノ ヨクセイ ニ カンスル ケントウ
  • Nickel silicide encroachment in silicon Nanowire and its suppression
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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