シリコンの表面プラズマ処理と表面状態
書誌事項
- タイトル別名
-
- シリコン ノ ヒョウメン プラズマ ショリ ト ヒョウメン ジョウタイ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 甲南大学紀要. 理学編 / 甲南大学 編
-
甲南大学紀要. 理学編 / 甲南大学 編 45 (1), 69-76, 1998
神戸 : 甲南大学
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520290885158975232
-
- NII論文ID
- 40001242335
-
- NII書誌ID
- AN00084653
-
- ISSN
- 04524160
-
- NDL書誌ID
- 4521555
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles