MEMS技術の最新動向--東北大学におけるプロジェクト

書誌事項

タイトル別名
  • MEMS ギジュツ ノ サイシン ドウコウ トウホク ダイガク ニ オケル プロジェクト
  • 特集 応用分野を拡大するマイクロマシン製品/MEMS技術
  • トクシュウ オウヨウ ブンヤ オ カクダイ スル マイクロマシン セイヒン MEMS ギジュツ

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収録刊行物

  • 電子材料

    電子材料 49 (7), 10-14, 2010-07

    東京 : 工業調査会

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