サブクォータミクロンロジックLSI用高信頼性銅配線の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- サブクォータ ミクロン ロジック LSIヨウ コウ シンライセイ ドウ ハイセ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 沖電気研究開発
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沖電気研究開発 64 (2), 67-72, 1997-04
東京 : 沖電気工業沖時報編集委員会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520291855512991744
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- NII論文ID
- 40003969928
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- NII書誌ID
- AN00033368
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- ISSN
- 0286892X
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- NDL書誌ID
- 4183841
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles