マイクロ波プラズマCVD装置におけるFRITを用いたプラズマ発光強度比制御系の一設計

書誌事項

タイトル別名
  • マイクロハ プラズマ CVD ソウチ ニ オケル FRIT オ モチイタ プラズマ ハッコウ キョウドヒ セイギョケイ ノ イチ セッケイ
  • A Design of Plasma Emission Intensity Ratio Control System for a Microwave Plasma CVD Process Using FRIT
  • 特集 スマートシステムと計測・制御技術
  • トクシュウ スマート システム ト ケイソク ・ セイギョ ギジュツ

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