極薄シリコン酸窒化膜の種々の結合形態にある窒素原子の深さ方向分布

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  • ゴクウス シリコンサン チッカ マク ノ シュジュ ノ ケツゴウ ケイタイ ニ アル チッソ ゲンシ ノ フカサ ホウコウ ブンプ

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