MEMSマイクロホンの犠牲層エッチング後に発生する柱状異物の発生メカニズムと抑制手法の検証

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  • MEMS マイクロホン ノ ギセイソウ エッチング ゴ ニ ハッセイ スル チュウジョウ イブツ ノ ハッセイ メカニズム ト ヨクセイ シュホウ ノ ケンショウ
  • Mechanism and improvement of an unexpected pillar material after sacrificial etching process of MEMS microphone

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