Influence of laser plasma soft X-ray irradiation on crystallization of a-Si film by infrared furnace annealing
書誌事項
- タイトル別名
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- Influence of laser plasma soft X ray irradiation on crystallization of a Si film by infrared furnace annealing
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収録刊行物
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- 兵庫県立大学大学院工学研究科研究報告 = Reports of Graduate School of Engineering, University of Hyogo / 兵庫県立大学大学院工学研究科 編
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兵庫県立大学大学院工学研究科研究報告 = Reports of Graduate School of Engineering, University of Hyogo / 兵庫県立大学大学院工学研究科 編 (63), 29-32, 2010
神戸 : 兵庫県立大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358189728512
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- NII論文ID
- 40018788599
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- NII書誌ID
- AA12010550
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- ISSN
- 1349855X
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- NDL書誌ID
- 11061812
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles