書誌事項
- タイトル別名
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- オヤマダ キネンショウ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ウスガタ ディスプレイ セイゾウ ソウチヨウ キバン ホルダー ノ セイゾウ ホウホウ カイハツ
- Oyamada Memorial lecture: Development of production method of substrate holder for manufacturing equipments of semiconductor and flat panel display
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収録刊行物
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- 軽金属
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軽金属 58 (3), 117-122, 2008-03
東京 : 軽金属学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358752603520
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- NII論文ID
- 10021989028
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- NII書誌ID
- AN00069773
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- ISSN
- 04515994
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- NDL書誌ID
- 9440474
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles