MEMS産業の現状--MEMSの進化・市場・産業インフラ
書誌事項
- タイトル別名
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- MEMS サンギョウ ノ ゲンジョウ MEMS ノ シンカ シジョウ サンギョウ インフラ
- 特集 マイクロマシン/MEMSの量産を支える設計・製造技術
- トクシュウ マイクロマシン MEMS ノ リョウサン オ ササエル セッケイ セイゾウ ギジュツ
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収録刊行物
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- 電子材料
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電子材料 46 (11), 25-30, 2007-11
東京 : 工業調査会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573329728875776
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- NII論文ID
- 40015699150
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- NII書誌ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL書誌ID
- 9261611
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles