3″φ高均一GaAsエピタキシャルウエハーの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- 3 ファイ コウ キンイツ GaAs エピタキシャルウエハー ノ カイハツ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 住友電気
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住友電気 (130), p84-88, 1987-03
大阪 : 住友電気工業
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573330790111104
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- NII論文ID
- 40002008956
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- NII書誌ID
- AN00285633
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- ISSN
- 05625815
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- NDL書誌ID
- 3130509
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles