プラズマCVD法にて成膜されるDLC膜の付き回り性に関する検討
書誌事項
- タイトル別名
-
- プラズマ CVDホウ ニテ セイマク サレル DLCマク ノ ツキ マワリ セイ ニ カンスル ケントウ
- Study of the Coverage of DLC Coating Prepared by Plasma CVD
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 山口県産業技術センター研究報告 = Report of Yamaguchi Prefectural Industrial Technology Institute / 山口県産業技術センター 編
-
山口県産業技術センター研究報告 = Report of Yamaguchi Prefectural Industrial Technology Institute / 山口県産業技術センター 編 (31), 16-19, 2019-11
宇部 : 山口県産業技術センター
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520573331228214144
-
- NII論文ID
- 40022189782
-
- NII書誌ID
- AA11510092
-
- ISSN
- 1345210X
-
- NDL書誌ID
- 030315821
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles
