高周波-直流結合形マグネトロンスパッタリング法による Ta/ITO構造のX線光電子分光法による評価
書誌事項
- タイトル別名
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- コウシュウハ チョクリュウ ケツゴウガタ マグネトロンスパッタリングホウ ニ ヨル Ta ITO コウゾウ
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌
収録刊行物
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- 広島工業大学研究紀要
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広島工業大学研究紀要 (33), 11-14, 1999-02
広島 : 広島工業大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832926883840
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- NII論文ID
- 40003284391
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- NII書誌ID
- AN0021271X
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- ISSN
- 03851672
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- NDL書誌ID
- 4645962
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles