原子層堆積法による平坦なZnO薄膜の成長条件調査

Bibliographic Information

Other Title
  • ゲンシソウ タイセキホウ ニ ヨル ヘイタン ナ ZnO ハクマク ノ セイチョウ ジョウケン チョウサ
  • Investigation of growth conditions of flat ZnO thin films by atomic layer deposition
  • 情報ディスプレイ
  • ジョウホウ ディスプレイ

Search this article

Journal

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top