原子層堆積法による平坦なZnO薄膜の成長条件調査

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タイトル別名
  • ゲンシソウ タイセキホウ ニ ヨル ヘイタン ナ ZnO ハクマク ノ セイチョウ ジョウケン チョウサ
  • Investigation of growth conditions of flat ZnO thin films by atomic layer deposition
  • 情報ディスプレイ
  • ジョウホウ ディスプレイ

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