第三電極を有するマグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO膜の低抵抗化

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タイトル別名
  • ダイ3 デンキョク オ ユウスル マグネトロン スパッタホウ ニ ヨル Al ドープ ZnO マク ノ テイテイコウカ
  • Lowering the resistivity of Al doped ZnO films deposited by a magnetron sputtering with a third electrode
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ザイリョウ

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