プラズマ成膜プロセスにおけるサブサーフェスでの反応過程解析

書誌事項

タイトル別名

プラズマセイマクプロセスニオケルサブサーフェスデノハンノウカテイカイセキ
Investigation of reactions at the subsurface region in plasma film deposition process

この論文をさがす

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

収録刊行物

プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編 83 (12), 935-941, 2007-12

名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

キーワード

詳細情報詳細情報について

Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/9324674; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9324674; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10456920

NDL 雑誌分類

データソース種別

書誌事項